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全钙钛矿结构氧化物集成薄膜晶体管研究

来源:
报告题目   全钙钛矿结构氧化物集成薄膜晶体管研究
报告人   赵柏儒 研究员
报告人单位   中国科学院物理研究所,超导国家重点实验室
报告时间   2012-10-27
报告地点   合肥微尺度物质科学国家实验室9004会议室
主办单位   合肥微尺度物质科学国家实验室
报告介绍
报告摘要:
  氧化物晶体管是构成氧化物电子学线路的基本器件,而氧化物电子学线路又是实现高效率低能耗的氧化物电子学应用的基本保障。如能将几种钙钛矿结构氧化物集成生长,并能在其界面获得半导体功能,就有可能实现晶体管的研制。本工作分别以钙钛矿结构金属性电子型铜氧化物超导体,半导体性空穴型锰氧化物超大磁电阻材料为n层和p层,以铁电体为耗尽层(i), 生成了p-i-n型集成体系,以微米(纳米)加工形成了两个背靠背p-i-n结的双极型晶体管构型,测试和建立了各界面势垒(界面能带图)和输运性能,得到了初步的晶体管放大功能,从原理,材料和工艺为发展氧化物晶体管作出了第一步。

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